技術(shù)編號：6156782
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種MOEMS光柵光譜儀。 背景技術(shù)目前市場上已經(jīng)有比較成熟的光譜儀，主要包括濾光片型、光柵掃描型、傅立葉變換型、陣列檢測型、聲光調(diào)諧型等，但都有各自優(yōu)缺點。濾光片型結(jié)構(gòu)簡單、成本低、光通量大、堅固耐用；但靈活性差，分辨率低，檢測對象單一，僅適于特殊用途；光柵掃描型通過光柵的轉(zhuǎn)動，使單色光按波長高低依次通過樣品進(jìn)入檢測器檢測。這種分光技術(shù)發(fā)展成熟，應(yīng)用廣泛；由于這種儀器的掃描機構(gòu)存在機械磨損間題，其波長測量精度和重現(xiàn)性較差，全譜側(cè)量時間較長；傅立...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。