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壓力傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6154333

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本發(fā)明涉及壓力傳感器,特別涉及不使用作為壓力傳感器的受壓介 質(zhì)的油的壓力傳感器。背景技術(shù)以往,公知有水壓計、氣壓計、壓力差計等使用壓電振動元件作為 感壓元件的壓力傳感器。所述壓電振動元件例如在板狀的壓電基板上形 成電極圖案,在力的檢測方向上設(shè)定檢測軸,當(dāng)在所述檢測軸的方向施 加壓力時,所述壓電振子的諧振頻率變化,根據(jù)所述諧振頻率的變化來 檢測壓力。在專利文獻1 3中,公開了使用壓電振動元件作為感壓元件 的壓力傳感器。通過壓力導(dǎo)入口對波紋管施加壓力時,與所述...
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