技術(shù)編號：6150130
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于超精密三維微細結(jié)構(gòu)表面形貌測量領(lǐng)域，主要涉及一種瞬間移相 干涉二次共焦測量裝置與方法。背景技術(shù)共焦測量技術(shù)最早是由M. Minsky于1957年提出，并于1961年獲得了美國 專利，專利號US 3013467，其基本技術(shù)思想是通過引入針孔探測器抑制雜散光， 實現(xiàn)軸向?qū)游瞿芰?，同時共焦顯微鏡的橫向分辨力是普通顯微鏡的1.4倍。經(jīng)過 近五十年的發(fā)展，共焦顯微技術(shù)在基本共焦的基礎(chǔ)上取得了長足的發(fā)展和進步， 各種不同類型的共焦顯微裝置和技術(shù)不斷涌現(xiàn)，目前...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。