技術(shù)編號:6139142
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是一種激光干涉測長法,涉及一種利用半導(dǎo)體激光的調(diào)制技術(shù),在被測長度的兩個(gè)端點(diǎn)干涉測量長度的方法。在長度的精密干涉測量方法中,經(jīng)典方法有邁克爾遜干涉儀,現(xiàn)代方法有雙頻激光干涉儀等。它們的相同點(diǎn)是,在測量中都要求測量元件從長度的起始點(diǎn)沿直線連續(xù)移動到終止點(diǎn),并對移動過程中干涉條紋的變化量進(jìn)行計(jì)數(shù),再從干涉條紋的變化量計(jì)算出長度值。哈爾濱工業(yè)大學(xué)出版社1988年出版的《計(jì)量光學(xué)》第16章第2節(jié)340頁分析的激光干涉儀,采用的測量方法是讓激光束通過分光鏡分成...
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