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技術(shù)編號(hào)：6138566

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當(dāng)前這個(gè)發(fā)明涉及了一個(gè)用于測定極小電容的方法，本方法特別適合用于求取微型機(jī)械式傳感器的測量結(jié)果。在電容測量式傳感器中，例如象微型機(jī)械式壓力傳感器(EP 0 714017＝US 5,631,428，WO 96/16319)或者象加速度傳感器(WO95/19572，EP 0 730 157)，對于集成化小元件如雙極晶體管和MOS晶體管，MIM-電容器等參數(shù)測定來說就產(chǎn)生了一個(gè)問題，就是如何以高精度準(zhǔn)確的測定這個(gè)非常小的電容。電容的測量值被摻雜了一些擾動(dòng)因素。例...
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