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開放電容式傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6134493

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本實(shí)用新型涉及一種極間距不變的電容式傳感器,屬物理測(cè)量?jī)x器。目前已有的電容式力敏傳感器多種多樣。它們的共同之處是外力改變傳感電容極間距以實(shí)現(xiàn)傳感功能。這些傳感器結(jié)構(gòu)較復(fù)雜。對(duì)于高靈敏度傳感器而言,制造起來就更為困難,如申請(qǐng)?zhí)枮?4119861.8的中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)。本實(shí)用新型的目的是提出一種在外力或別的物理量作用下不改變電容極間距而使電容兩極板之間耦合程度發(fā)生變化的電容式傳感器。這可以大大簡(jiǎn)化電容傳感器的結(jié)構(gòu)及制造工藝,提高其傳感靈敏度。本實(shí)用新型的內(nèi)容是...
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