技術(shù)編號：6101784
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體而言涉及物體的定位技術(shù)，更具體而言，涉及一種僅需要較小的占用面積便能夠進(jìn)行高速和高精度定位的可移動操作裝置及一種控制這種可移動操作裝置的方法。背景技術(shù) 近年來，頻繁使用在盤狀物體上實施各種操作的裝置和方法，并且人們已作出努力來提高在實施操作的操作部分與盤狀物體之間進(jìn)行定位速度、精度、準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性、使使用更加方便、及減少占用面積和成本。這些裝置的實例包括諸如用于測試和檢驗已安裝的/未安裝的電路板的裝置、半導(dǎo)體晶圓測試和檢驗裝置、原子力顯微鏡等測試...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。