技術(shù)編號：6099555
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請與申請?zhí)枮?0/147,682的美國臨時專利申請有關(guān)，并以該臨時申請為在先申請而要求優(yōu)先權(quán)，該臨時申請的申請日為1999年8月6日，這里結(jié)合該臨時申請的全部內(nèi)容，包括所有權(quán)利要求、附圖和表格在內(nèi)，以供參考。通常用光學(xué)測量來確定薄膜的厚度。橢圓測量儀通過確定從薄膜反射的偏振光的橢圓度給出薄膜厚度信息。橢圓測量儀通常包括光源、偏振片、分析器、光學(xué)補(bǔ)償器或四分之一波片、以及探測器。例如，5,936,734號美國專利公開了使用單一的、部分的、和/或多重的偏振...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。