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全息式激光光觸針測(cè)量頭的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6090670

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本實(shí)用新型涉及光學(xué)元件,更具體地說(shuō),本實(shí)用新型是關(guān)于全息式離焦法激光光觸針測(cè)量頭。目前對(duì)物體的位移、表面輪廓、表面粗糙度等幾何量參數(shù)進(jìn)行非接觸測(cè)量用的測(cè)微儀所采用的離焦法光學(xué)測(cè)頭如附圖說(shuō)明圖1所示,主要包括半導(dǎo)體激光器[1]、準(zhǔn)直鏡[2]、分光鏡[13]、匯聚鏡[14]、傅科棱鏡[15]、物鏡[6]和光電接收器[16]等,該技術(shù)方案的不足之處是所需光學(xué)元件多,結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高。本實(shí)用新型的目的是,將上述分光鏡[13]、匯聚鏡[14]和傅科棱鏡[15]由具有...
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