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一種集成硅膜熱流量傳感器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6084956

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本發(fā)明涉及,屬集成傳感器領(lǐng)域。置于流體中的加熱面的熱損失隨流體的流速增大而增加,測量加熱面的熱損失即可求出流速及與此有關(guān)的流體參數(shù)。集成熱流量傳感器具有對低流速靈敏度高、響應(yīng)快和體積小、成本低與信號處理電路兼容性好和可靠性高等優(yōu)點?,F(xiàn)在通用的集成熱流量傳感器多數(shù)未采用熱隔離結(jié)構(gòu)(B.W.Van Dudheusden,J.M.De Bruijn,P.J.Hoogeboom,D.Beaufort and J.H.Huijsing,Sensors an...
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