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激活能測試裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6073902

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本實(shí)用新型公開了一種激活能測試裝置,用于太陽能電池微晶硅薄膜的氧污染測試,包括容腔,用以形成氣密閉空間;真空系統(tǒng),連接所述容腔,用于容腔的抽真空;測試平臺,位于所述容腔內(nèi),用于定位待測樣品;取樣電極,位于所述容腔內(nèi),配有一對,匹配定位在待測樣品的選定位置;以及溫控裝置,輔配于所述容腔,用于容腔的溫度控制。依據(jù)本實(shí)用新型能夠?yàn)楸绢I(lǐng)域的技術(shù)人員提供后續(xù)處理的參考。專利說明激活能測試裝置 [0001]本實(shí)用新型涉及一種激活能測試裝置,用于太陽能電池微晶硅薄...
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