技術(shù)編號：6072100
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種掃描式微波反射法載流子復(fù)合壽命測試系統(tǒng)，該測試系統(tǒng)包括脈沖激光系統(tǒng)、微波系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、掃描運動系統(tǒng)、運動控制系統(tǒng)，測試控制系統(tǒng)和探頭，掃描運動系統(tǒng)用于將探頭進行三維定位，運動控制系統(tǒng)分別與掃描運動系統(tǒng)、測試控制系統(tǒng)相連，用于根據(jù)測試控制系統(tǒng)指令驅(qū)動掃描運動系統(tǒng)動作；脈沖激光系統(tǒng)、微波系統(tǒng)均設(shè)置在探頭內(nèi)，微波系統(tǒng)與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和測試控制系統(tǒng)相連。脈沖激光系統(tǒng)產(chǎn)生脈沖式的紅外激光，穿過微波系統(tǒng)中微帶天線的中間開孔垂直...
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