技術編號：6031036
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。表面聲波感測器本發(fā)明是關于聲波感測，特別是關于一種表面聲波感測器。背景技術表面聲波感測器具有許多應用，它的商業(yè)潛力正開始被人們所認識。表面聲波感測器由 于制造成本低、靈敏度高、可靠性高等優(yōu)勢，被大量地開發(fā)成許多感測器組件。一種表面聲波感測器，其包括一壓電基底、設置于壓電基底表面的輸入叉指電極 (Interdigital Transducers, IDT)、輸出叉指電極以及設置于壓電基底表面且位于輸入叉 指電極與輸出叉指電極之間的感測裝置，該感測裝置為感測薄...
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