技術(shù)編號：6027415
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微流量傳感器及其制作方法，特別是涉及一種，可用于氣體或液體的微流量檢測，屬于硅微機(jī)械傳感器。背景技術(shù)20世紀(jì)80年代開始，隨著微電子技術(shù)和MEMS加工技術(shù)的快速發(fā)展為硅基流量傳感器的發(fā)展提供了有利條件。自從Vanputten和Middelhoek在1974年首次利用標(biāo)準(zhǔn)娃工藝制作出硅微流量傳感器之后，硅流量傳感器制作技術(shù)已取得了很大的進(jìn)步，其應(yīng)用領(lǐng)域也逐漸滲透到人類工作和生活中的各個領(lǐng)域，如水質(zhì)檢測、大氣監(jiān)測、生命科學(xué)、航空航天、生物以及制藥...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。