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微電極陣列傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6026370

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本發(fā)明涉及分布電勢場傳感和生物電生理檢測領(lǐng)域,特別涉及一種微電極陣列傳感器。背景技術(shù)微電極陣列傳感器廣泛應用在分布電勢場傳感和生物電生理檢測領(lǐng)域中,特別是應用在神經(jīng)電生理學研究中記錄神經(jīng)電信號。微電極陣列傳感器的工作原理為溶液中的離子與電極中的電子在微電極界面上存在電場耦合,微電極附近的電勢場因此能夠被探測并傳輸?shù)酵獠侩娐吠瓿尚盘栍涗洝,F(xiàn)有的微電極陣列傳感器的典型結(jié)構(gòu)參見圖1。在絕緣襯底上排布多組微電極,每個微電極由導線引出,其上覆蓋絕緣層,僅暴露出微電極...
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