技術編號：6025336
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于納機電系統(tǒng)(NEMS)應用領域，特指一種用于超小質(zhì)量檢測的納機電諧振式傳感器及其制作方法。背景技術對于機械電子式諧振器而言，系統(tǒng)的固有頻率(Λ =)隨剛度影響系數(shù)A的增大而增大，隨有效質(zhì)量的減小而增大。提高諧振頻率的方法主要是通過降低系統(tǒng)的質(zhì)量和提高彈性剛度，而彈性剛度與梁的楊氏模量萬成正比。石墨烯是目前發(fā)現(xiàn)的具有二維結構的材料，其單層厚度只有0.35 nm，楊氏模量 .OGPa ,有效質(zhì)量 eff極小，符合提高諧振頻率的要求。已有的納機電諧振...
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