技術(shù)編號:5968484
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及用于對在液晶顯示器(IXD)、等離子體顯示器(rop)等平板顯示器(FPD)的制造 中所使用的大型基板進(jìn)行檢查的基板檢查系統(tǒng)。背景技術(shù)以往,在對平板顯示器所使用的基板進(jìn)行的檢查中存在如下所述的目視檢查(人工宏觀檢查)在將基板立起成規(guī)定角度的狀態(tài)下從基板表面?zhèn)日丈浜暧^照明光而利用目視根據(jù)來自基板的反射光的散射狀況來判斷缺陷,或者,在將基板垂直地立起的狀態(tài)下從基板背面?zhèn)日丈浔彻?back light)照明光而利用目視根據(jù)透射光的散射狀況來判斷缺陷...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。