技術(shù)編號：5964195
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻機(jī)中能量衰減裝置的測量技術(shù)，特別是一種光學(xué)可變衰減器透過率的測量系統(tǒng)及測量方法，屬于光刻機(jī)中元件檢測領(lǐng)域。背景技術(shù)光學(xué)可變衰減器(Variable Optical Attenuator-VOA)常用在光信息傳輸領(lǐng)域中，其可以補(bǔ)償光傳輸過程中的功率波動并對光功率進(jìn)行預(yù)定量的衰減，使其與光信號接收器的工作范圍最佳的匹配，還可以保護(hù)光信號接收器以免過高的激光能量帶來的損壞。在光能量衰減器的研究中，2001年由中科院上海光機(jī)所黃杰等人對基于變角度薄膜...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。