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位移檢測裝置、標(biāo)尺校準(zhǔn)方法和標(biāo)尺校準(zhǔn)程序的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5960599

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本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于直線編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器等的位移檢測裝置、標(biāo)尺校準(zhǔn)方法和標(biāo)尺校準(zhǔn)程序。背景技術(shù)通常在出廠之前對諸如編碼器等位移測量裝置的測量誤差進(jìn)行評估。諸如激光干涉儀等高精度位移傳感器用作誤差評估的基準(zhǔn)。由此獲得的誤差數(shù)據(jù)以出廠前檢查表的形式與編碼器一起出廠,以用作用于保證編碼器性能的重要數(shù)據(jù)。然而,當(dāng)編碼器的標(biāo)尺附著于機(jī)床、測量裝置等應(yīng)用時,根據(jù)標(biāo)尺的材料和長度以及固定方法,編碼器的標(biāo)尺可能會產(chǎn)生變形。在一些情況下,標(biāo)尺所產(chǎn)生的變形可能會引起相對于所...
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