技術(shù)編號：5943333
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種非球面非零位干涉檢測中部分補償透鏡對準的裝置與方法。背景技術(shù)在非球面非零位干涉檢測中，部分補償透鏡承擔著補償一定范圍內(nèi)非球面的縱向法線像差，降低系統(tǒng)像面處返回波前斜率，進而使干涉條紋可以被探測器分辨的作用，是整個非零位干涉系統(tǒng)的核心組成部分。為了減小系統(tǒng)誤差，原理上要求部分補償透鏡與非零位干涉儀正確對準(包括傾斜和偏心)，即其在實際系統(tǒng)中的位置應(yīng)該與理論模型中的位置完全相同。如果其存在對準誤差，將會向檢測結(jié)果中引入大量的像散、慧差等像差，嚴重...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。