技術編號：5938221
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及傳感器。更具體地，但不唯一地涉及諸如慣性傳感器的傳感器，例如加速度計和陀螺儀，其中微電子機械系統(tǒng)(MEMS)傳感器的共振頻率必須與所關聯(lián)的控制電子裝置相匹配。背景技術已知多種類型的慣性傳感器。包含環(huán)形共振器(resonator ring)類型的MEMS傳感器的角速度傳感器是已知的且這種示例可以在例如GB2322196中看到。在這種角速度傳感器中公開了振動平面環(huán)(vibrate planar ring)或類環(huán)結構。類環(huán)結構通過合適的支撐座懸在空間中...
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