技術(shù)編號(hào)：5937611
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))微陀螺，特別是一種利用靜電和電荷馳豫工作的懸浮轉(zhuǎn)子MEMS微陀螺，用于衛(wèi)星、汽車(chē)等導(dǎo)航控制領(lǐng)域。背景技術(shù) MEMS器件具有微小化、低成本、低能耗、可批量化的特點(diǎn)，近年來(lái)，各國(guó)的學(xué)者、工程師嘗試設(shè)計(jì)和制造懸浮轉(zhuǎn)子MEMS微陀螺。經(jīng)文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn)美國(guó)專(zhuān)利“加速檢測(cè)型陀螺和制造方法(acceleration-detectingtype gyro and manufacturing method thereof)”(專(zhuān)利號(hào)5920...
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