技術(shù)編號(hào):5892046
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)和微慣性測(cè)量技術(shù),特別是一種雙質(zhì)量振動(dòng)式硅 微機(jī)械陀螺儀接口電路。背景技術(shù)硅微機(jī)械陀螺儀作為微電子機(jī)械中的一種,它可以將微機(jī)械陀螺的結(jié)構(gòu)和所需的 電子線路完全集成在一個(gè)硅片上,從而達(dá)到性能、價(jià)格、體積、重量與可靠性等多方面的高 度統(tǒng)一。因而,硅微機(jī)械陀螺儀具有一系列的優(yōu)點(diǎn),例如體積小、重量輕、價(jià)格便宜、可靠性 高、可大批量生產(chǎn)等,使之在軍民兩方面都具有廣泛的應(yīng)用前景。在民用方面,主要用于汽 車工業(yè)、工業(yè)監(jiān)控及消費(fèi)類產(chǎn)品和機(jī)器人技...
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