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輪式單結(jié)構(gòu)三軸微機(jī)械陀螺儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5881612

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本發(fā)明涉及一種微機(jī)械陀螺儀,尤其涉及一種具有解耦特性的輪式單結(jié)構(gòu)三軸微 機(jī)械陀螺儀。屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。背景技術(shù)微機(jī)械陀螺儀是基于微機(jī)電系統(tǒng)的慣性器件,可用來測量運動物體的角速度。和 傳統(tǒng)陀螺儀相比,微機(jī)械陀螺儀具有體積小,質(zhì)量輕,價格低廉,更適合大批量生產(chǎn)等特點。 傳統(tǒng)陀螺儀,包括機(jī)械陀螺儀,激光陀螺儀,光纖陀螺儀等等,一直廣范應(yīng)用于飛行器穩(wěn)定 控制,武器導(dǎo)航制導(dǎo),汽車安全等領(lǐng)域,由于這些陀螺儀體積大,成本高而不適合應(yīng)用于消 費類電子產(chǎn)品。近...
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