技術(shù)編號：5880244
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光電測量，具體涉及光電測量技術(shù)中測量微位移的裝置。 背景技術(shù)光柵尺是目前應(yīng)用較為廣泛的具有代表性的測量位移傳感器，由于受碼盤刻畫、 溫度以及裝調(diào)工藝等因素的影響，使測量裝置體積和測量分辨率及精度成為業(yè)內(nèi)人事十分 關(guān)心的問題。以往在空間小的環(huán)境下對微位移測量的裝置主要是靠霍爾元件，直線電位器等模 擬器件，它們有易受電器噪聲干擾，分辨率較低，穩(wěn)定性差等特點。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明為解決現(xiàn)有微位移測量裝置的體積大，測量精度低且穩(wěn)定差，易受電器噪 聲干擾等問題，...
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