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用于檢測(cè)芯片溫度變化的器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5879129

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本發(fā)明涉及用于測(cè)量集成電路芯片襯底溫度的器件。 背景技術(shù)在許多電子系統(tǒng)中,需要能在運(yùn)行時(shí)測(cè)量集成電路芯片的內(nèi)部溫度。特別是檢測(cè) 芯片溫度有可能的異常升高。已經(jīng)有基于監(jiān)測(cè)形成在芯片襯底中的電阻阻值變化的溫度測(cè)量器件。實(shí)際上,由 于硅的壓阻特性,形成在硅襯底中的電阻阻值取決于襯底所受的機(jī)械應(yīng)力。由于襯底中溫 度變化引起應(yīng)力變化,從而使得電阻值與襯底溫度相關(guān)。這種溫度測(cè)量器件的缺點(diǎn)在于其誤差,尤其是由于電阻制成方法所導(dǎo)致的誤差。 實(shí)際上,在等溫時(shí),可觀測(cè)到同一半...
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