技術編號：5873388
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種，尤其涉及一種 與CMOS標準工藝兼容的MEMS電容式氣壓傳感器芯片的封裝結構及其制備方法。背景技術氣壓傳感器在氣象預報、氣候分析、環(huán)境檢測、航空航天等方面發(fā)揮著越來越重要 的作用。尤其是近年來頻繁發(fā)生的天氣自然災害使得氣壓傳感器在氣象預報和氣候分析方 面凸顯重要性。氣壓傳感器應用需求巨大，由于MEMS技術的進步，基于MEMS技術的氣壓傳 感器可以提高氣壓傳感器性能、降低成本，因此成為國內(nèi)外研究機構、高校的主要研究與開 發(fā)的一類器件。而壓力傳...
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