技術(shù)編號：5870583
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微電子機械系統(tǒng)制造、性能及其可靠性測試的，尤其涉及一 種MEMS (微機械系統(tǒng))微懸臂梁在靜電驅(qū)動下的接觸力分布的測量結(jié)構(gòu)及其方法。背景技術(shù)微懸臂梁是許多MEMS器件的基本構(gòu)件。外加載荷下，微懸臂梁的自由端與襯底相 接觸的接觸力分布特點是人們分析器件接觸可靠性所關(guān)注的問題之一。例如，MEMS金屬接 觸式開關(guān)，接觸力的大小直接影響開關(guān)的性能參數(shù)和長期使用的可靠性。同時，接觸力分布 也是分析微懸臂梁結(jié)構(gòu)粘附特性的重要依據(jù)。對于微懸臂梁結(jié)構(gòu)，由于作用在...
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