技術編號：5868522
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于光學干涉測量儀器，尤其涉及斐索型同步移相干涉儀。 背景技術斐索型干涉儀采用被測光束與參考光束的共光路設計，除參考面外，干涉儀光學系統(tǒng)自身的像差對被測光束和參考光束的影響基本相同，絕大部分可相互抵消，因而斐索型干涉儀僅對參考面的精度要求高，而對系統(tǒng)波像差和其它元件的加工、裝配精度要求較低。與泰曼格林型等非共光路干涉儀相比，斐索型干涉儀的設計和加工難度明顯降低，因此成為大口徑、大數(shù)值孔徑光學系統(tǒng)/元件的波像差/面形檢測的首選。 目前，斐索型同步移相干...
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