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一種多光源相位延遲器件測(cè)量系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5851985

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本實(shí)用新型涉及一種相位延遲器件測(cè)量系統(tǒng),特別是涉及一種多光源相位延遲器件測(cè)量系統(tǒng),屬于光學(xué)測(cè)量。 背景技術(shù)相位延遲量作為相位延遲器件的重要參數(shù),其測(cè)量準(zhǔn)確度直接影響到應(yīng)用系統(tǒng) 的質(zhì)量,并且隨著技術(shù)的發(fā)展和研究的深入,人們對(duì)波片的加工和測(cè)量精度都提出了更高 的要求,例如空間太陽(yáng)望遠(yuǎn)鏡(SST)的偏振測(cè)量精度已經(jīng)要求能夠達(dá)到10—4以上。因此, 提高相位延遲量的測(cè)量準(zhǔn)確度對(duì)于設(shè)計(jì)和研制高精度相位延遲器件及系統(tǒng)具有十分重要 的意義。目前有很多測(cè)量波片相位延遲量的...
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