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以氧化亞銅微晶薄膜為傳感材料的氣體傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5844067

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本發(fā)明專利申請(qǐng)涉及用于探測(cè)易燃、易爆、有毒、有害氣體的探測(cè)傳感器,尤其涉 及的是探測(cè)甲烷、一氧化碳、二氧化碳及氫氣等氣體的探測(cè)設(shè)施。背景技術(shù)科技人員們已經(jīng)開(kāi)展了應(yīng)用氧化銅、氧化鋅等金屬氧化物作為氣體監(jiān)測(cè)傳感器材 料的技術(shù)研究。研究發(fā)現(xiàn)這些金屬氧化物材料表面吸附氣體后,其表面和基體的電阻值都 會(huì)產(chǎn)生變化;其中細(xì)小的晶粒有利于促進(jìn)材料表面的敏感性;粗大的晶粒對(duì)基體的敏感性 有幫助。所以納米晶粒的金屬氧化物薄膜是氣體傳感器的首選?,F(xiàn)有的氣體傳感器,包括 氧化鈀氣...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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