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集成有振動(dòng)隔離裝置的預(yù)成型殼體的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5832833

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本發(fā)明涉及一種用于容納芯片結(jié)構(gòu)、特別是微機(jī)械傳感器的預(yù)成型殼 體,具有集成在殼體中的振動(dòng)隔離裝置。背景技術(shù)用于測(cè)量轉(zhuǎn)速或加速度的微機(jī)械結(jié)構(gòu)式慣性傳感器現(xiàn)在是車輛中的主動(dòng)或者被動(dòng)安全系統(tǒng)的耐用的組成部分。安全氣囊和行駛動(dòng)力學(xué)調(diào)節(jié)是其它系統(tǒng)的代表。由于傳感器信號(hào)的錯(cuò)誤解釋引起的功能故障在這些系統(tǒng)中 對(duì)安全性具有重大影響。特別是用于不同的加速度測(cè)量和運(yùn)動(dòng)測(cè)量的微機(jī)械傳感器必須相對(duì)于 干擾加速度自保護(hù),避免損壞或者功能故障。這類干擾加速度能夠特別地 通過(guò)經(jīng)減振不夠...
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