技術(shù)編號：5832173
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種測試才幾械手，更具體地講，涉及這樣一種測試托盤，該 測試托盤加載有半導(dǎo)體器件，然后在測試機(jī)械手中沿著預(yù)定的循環(huán)路徑攜帶 這些半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)在半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域中，測試機(jī)械手也稱為自動測試設(shè)備，允許檢測器 根據(jù)預(yù)定的測試過程測試半導(dǎo)體器件并將測試過的半導(dǎo)體器件分類，從而才是 供質(zhì)量良好的半導(dǎo)體器件。測試機(jī)械手被構(gòu)造為包括多個(gè)測試托盤，所述測 試托盤加載有半導(dǎo)體器件并且按照預(yù)定的循環(huán)在機(jī)械手中運(yùn)動。雖然測試托盤在循環(huán)路徑上運(yùn)動，但是它們靠近(...
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