技術(shù)編號(hào)：5831147
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及密封物件中的泄漏檢測(cè)，具體來說，涉及相對(duì)高試驗(yàn)端口壓力 下大泄漏處的痕量氣體泄漏檢測(cè)系統(tǒng)和方法。痕量氣體通常是氦氣，但不局限 于氦氣。背景技術(shù)氦氣質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)是一種眾所周知的泄漏檢測(cè)技術(shù)。氦氣用作為痕量氣 體，它可通過密封試驗(yàn)件上的最小泄漏處。然后將氦氣抽取到泄漏檢測(cè)儀內(nèi)進(jìn) 行測(cè)量。氦氣量對(duì)應(yīng)于泄漏率。儀器的重要部件是質(zhì)譜儀，它檢測(cè)和測(cè)量氦氣。 使輸入氣體離子化，用質(zhì)譜儀分析質(zhì)量，以便分離氦氣分量，然后測(cè)量該氦氣 分量。在一種方法中，試驗(yàn)件的內(nèi)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。