技術(shù)編號：5829794
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。.本實用新型涉及一種晶圓針測機裝置，且特別有關(guān)于一種晶圓針 測機的轉(zhuǎn)換接口裝置。背景技術(shù)一般晶圓在制備完成后，都會以晶圓針測機進行晶圓測試，逐一 檢測晶圓上各個晶粒的電性以篩選出不良品，并僅針對通過電性檢測 的晶粒進行后續(xù)的封裝制程，以節(jié)省不必要的成本。附圖說明圖1顯示一般晶圓針測機10的示意圖，其主要包含測試軟件裝置 12、轉(zhuǎn)換接口裝置14以及測試座裝置16。測試座裝置16可用以承載晶圓18，而測試軟件裝置12則分別與 轉(zhuǎn)換接口裝置14以及測試座裝置16...
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