技術(shù)編號：5821277
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是關(guān)于一種，尤其是關(guān)于一種用于超精密測量的物體形貌測量 方法。背景技術(shù)精密元件在加工完成后，通常需對其整體的形貌進行測量，以確定該精密元件是否合格請參閱圖l， 一種現(xiàn)有測量方法，其采用接觸式測量裝置進行測量。請參閱圖l，該測量 裝置包括磁芯91、電感線圈92、支點93、杠桿94及觸針95。觸針95末端始終與工件96表面接 觸。該測量方法包括以下步驟驅(qū)動工件96沿X軸運動，得到一個測量點的X坐標；觸針95因 工件96表面輪廓的起伏而沿Z軸上下移動，帶動...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。