技術(shù)編號(hào):5811746
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置[0001]本實(shí)用新型屬化工,具體涉及一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源 輸送裝置。背景技術(shù)[0002]PSA尾氣回收裝置是近幾年來(lái)化工領(lǐng)域廣泛采用的尾氣分離技術(shù),以程控閥 多、動(dòng)作頻繁、自動(dòng)化程度高而著稱(chēng)。原程控閥所用儀表風(fēng)氣體含有水份,易與尾氣中 的三氯氫硅反應(yīng)生成氯化氫氣體,對(duì)程控閥造成腐蝕,導(dǎo)致程控閥檢修頻繁,最終影響 PSA尾氣回收裝置正常運(yùn)行。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。