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三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5811746

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三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置[0001]本實(shí)用新型屬化工,具體涉及一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源 輸送裝置。背景技術(shù)[0002]PSA尾氣回收裝置是近幾年來(lái)化工領(lǐng)域廣泛采用的尾氣分離技術(shù),以程控閥 多、動(dòng)作頻繁、自動(dòng)化程度高而著稱(chēng)。原程控閥所用儀表風(fēng)氣體含有水份,易與尾氣中 的三氯氫硅反應(yīng)生成氯化氫氣體,對(duì)程控閥造成腐蝕,導(dǎo)致程控閥檢修頻繁,最終影響 PSA尾氣回收裝置正常運(yùn)行。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述...
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  • 劉老師:1.制冷系統(tǒng)節(jié)能技術(shù) 2.自然工質(zhì)替代技術(shù) 3.相變儲(chǔ)能及新能利用
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