技術(shù)編號：5797687
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。手動汽動組合mit閥本申請是2004年1月17日提交的名稱為"手動/氣動組合截止閥"的 中國專利申請200410005821. 0的分案申請。本申請要求對2003年1月17日申請的題為"手動/氣動組合截止閥"的美 國臨時專利60/440928享有優(yōu)先權(quán)。絲領(lǐng)域本發(fā)明關(guān)于工藝流體控制裝置，尤其是關(guān)于一種工藝流體控制裝置的截止閥。背景駄在半導(dǎo)體晶片處理過程中，與添加、改變或去除硅片上材料相關(guān)的幾乎所 有工藝都會使用一種或多種工藝流體。這些工藝流體可包 刮者如氦...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。