技術(shù)編號(hào)：5795106
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于超精密運(yùn)動(dòng)、超精密測(cè)量，涉及一種空氣靜壓止推軸承，主要用于光刻機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等設(shè)備中運(yùn)動(dòng)部件的設(shè)計(jì)。背景技術(shù)空氣靜壓止推軸承具有無(wú)磨損、摩擦小、低速無(wú)爬行、運(yùn)動(dòng)精度高等一系列優(yōu)點(diǎn)， 故廣泛應(yīng)用于超精密運(yùn)動(dòng)、精密測(cè)量領(lǐng)域，但同時(shí)也存在剛度低、承載能力小、穩(wěn)定性差的缺點(diǎn)?，F(xiàn)有空氣靜壓止推軸承通常采用小孔節(jié)流，高壓氣體經(jīng)小孔節(jié)流器進(jìn)入氣腔，再由氣腔邊緣進(jìn)入軸承間隙；氣腔內(nèi)壓力沿軸承間隙逐漸減小，至軸承邊緣處壓力降為環(huán)境壓力。一方面由于潤(rùn)滑劑為氣體，其...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。