技術(shù)編號(hào)：5757030
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種氣體輸送管體結(jié)構(gòu)，尤其是一種分離式硅烷管，屬于硅烷管的。背景技術(shù)隨著光伏行業(yè)的迅猛發(fā)展，各電池片廠商面臨著越來越大的競爭壓力，而設(shè)備的維護(hù)時(shí)間和維護(hù)成本占了很了很大一部分，特氣管是PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition)鍍膜上面的重要零部件，由于其在反應(yīng)腔式里工作，反應(yīng)生成的氮化硅會(huì)沉積在特氣管的出氣口處而堵塞氣管。為了保正反應(yīng)的正常進(jìn)行，必須定期對(duì)特氣管進(jìn)行拆洗維護(hù)，而反應(yīng)生成的氮化硅...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。