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本發(fā)明涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)加工技術(shù)中制作活動(dòng)微結(jié)構(gòu)的工藝方法，特別是涉及犧牲層的制作方法和電鍍技術(shù)。據(jù)荷蘭出版的《傳感器和執(zhí)行器》(Sensors and Actuators，A，56(1996)第1頁(yè))介紹，微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)概念是由美國(guó)的K.E.彼得生(K.E.Peterson)在1982年首先提出的，他將用于制造微電子器件和集成電路的微加工技術(shù)移植到微機(jī)械、微光學(xué)器件制造中，并通過(guò)與集成電路系統(tǒng)集成，得到既具有信號(hào)處理能力，又具有機(jī)械執(zhí)行功能，...
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