技術編號：5532916
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導體硅片傳輸機器人制造領域，尤其涉及一種硅片傳輸機器人上的Z軸傳動升降機構。背景技術在硅片傳輸機器人的Z軸傳動升降機構中，較多使用的是立柱式Z軸傳動升降機構，即使用滾珠導軌作為Z軸升降的運動基準，將滾珠導軌安裝在立柱的基準面上。但這種傳動機構存在著以下缺點一是結構受力狀態(tài)不好。立柱式Z軸傳動升降機構的受力方向在沿滾珠導軌的運動軸線方向，而導軌的最佳受力方向是在與滾珠導軌平面的垂直方向；二是由于上部結構的全部重量都通過支撐滑塊以懸臂梁的形式傳...
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