技術編號：55066
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及高精度地測定懸臂的位移量的位移測定方法，尤其是涉及使用該方法的、能夠通過使探針在試樣表面掃描來觀察試樣的表面形狀或物性信息的掃描型探頭顯微鏡。背景技術掃描型探頭顯微鏡(以下稱作SPM)是測定試樣的表面形狀或物性信息的顯微鏡，至今為止提出了各種各樣的測定模式。例如，有通過將在探針與試樣間流過的隧道電流保持恒定來取得表面形狀的掃描型隧道顯微鏡(以下稱作STM)，以及通過檢測探針與試樣間的原子間作用力來取得表面形狀的原子間作用力顯微鏡(以下稱作AFM)。在AFM中，存在通過將懸臂的撓度保持恒定來取得表面...
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