技術(shù)編號：5502164
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)低溫泵為通過冷凝或吸附將氣體分子捕捉于冷卻成超低溫的低溫板上而進行排氣的真空泵(例如，參考專利文獻I)。低溫泵為了實現(xiàn)半導(dǎo)體電路制造工藝等所要求的清潔的真空環(huán)境而被廣泛地利用。低溫泵為所謂的氣體捕集式真空泵，因此需要定期地向外部排出捕捉氣體的再生。專利文獻1國際公開第05/052369號小冊子由于啟動半導(dǎo)體電路制造工藝花費成本和時間，因此應(yīng)避免由裝置的不良狀態(tài)等引起的制造工藝的無法預(yù)測的停止。因此，為了實現(xiàn)制造工藝所要求的真空環(huán)境而...
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