技術(shù)編號：5457964
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及多級擴散泵。 背景技術(shù)為了降低多級擴散泵的振動噪音，已知有加大導(dǎo)向葉片擴散器等 的入口與葉輪的出口的間隙而降低振動噪音的方法，或?qū)⑷~輪出口進行三維扭轉(zhuǎn)，使二者的干涉得以緩和而降低振動噪音的方法。專利文獻1中，提出了下面的式子，作為用來降低振動噪音的葉輪和導(dǎo)向葉片的安裝方法。(式l)Z[sinK^AX卜A/的-/^.U1)}]=0 …(式1 )專利文獻1日本特開平5 — 14120號公報但是，上述現(xiàn)有技術(shù)的第1、第2機構(gòu)存在使得多級擴散泵的效 率或...
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