技術(shù)編號(hào)：5425154
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種磁懸浮分子泵控制方法，具體地說是一種磁懸浮分子泵的轉(zhuǎn)子章動(dòng)峰振動(dòng)控制方法。背景技術(shù)分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。磁懸浮分子泵是利用磁軸承產(chǎn)生電磁力使轉(zhuǎn)子懸浮在空中，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)子和定子之間無機(jī)械接觸且轉(zhuǎn)子位置可主動(dòng)控制的一種新型高性能分子泵。由于磁懸浮分子泵具有無摩擦、無需潤滑、無污染、高速度、壽命長等優(yōu)點(diǎn)， 因此磁懸浮分子泵廣泛用于高真空度、高潔凈度的真空獲得領(lǐng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。