技術(shù)編號:5287872
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及具有導(dǎo)電材料表面層的基板的電化學(xué)刻蝕。背景技術(shù) 電化學(xué)刻蝕是在例如所謂的PCB(印刷電路板)或PWB(印制布線板)以及半導(dǎo)體晶片的制造中在基板上產(chǎn)生圖形的技術(shù)。在兩種情況中,基板包括粘附到非導(dǎo)體基底的金屬膜。通常,光敏抗蝕劑涂層涂覆到金屬膜,由此使用光刻工藝將需要的圖形從掩?;蚰0?master)上轉(zhuǎn)移到抗蝕劑涂層,由此產(chǎn)生未覆蓋的選擇部分。在基板和相對的極板電極之間的導(dǎo)電刻蝕劑中施加電流進(jìn)行電化學(xué)刻蝕步驟,基板和極板連接到公共電源分別作為陽...
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