技術編號：5276029
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是利用荷能粒子(其能量在幾個千電子伏之上，粒子為元素周期表中的原子或離子以及由幾個原子或分子組成的團簇粒子或離子)，特別是荷能重離子，在Si基膜中輻照產(chǎn)生粒子潛徑跡，然后濕法腐蝕Si基膜中的粒子潛徑跡，腐蝕過程中通過一個偏壓和一種阻止溶液來終止腐蝕，從而在Si基膜中形成納米孔道，屬于核技術與納米科學的交叉領域。背景技術 膜上納米孔道(最小孔徑1-100nm)的制備和應用，已成為當前國際上的一個重要，預計將在DNA、蛋白質快速測序、生物分子分離等方面得...
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