技術(shù)編號：5271635
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystem；MEMS)的鏡面(mirror)技術(shù)，特別是關(guān)于一種使用鎢保護(hù)層來防止因金屬突穿(metal-spiking)造成鏡面結(jié)構(gòu)的橋接、并改善鏡面結(jié)構(gòu)的曲率的鏡面制程(mirror process)。背景技術(shù) 在各項(xiàng)應(yīng)用產(chǎn)品中，例如用于直接顯示(direct view)與投影顯示屏幕的感應(yīng)器、加速度計(jì)(accelerometer)、電動開關(guān)(electrical switch)、光...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。