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一種mems硅晶圓片劃片切割和結(jié)構(gòu)釋放方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5271539

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本發(fā)明涉及一種MEMS娃晶圓片劃片切割和結(jié)構(gòu)釋放方法,屬于微機(jī)電系統(tǒng)微細(xì)加工和晶圓劃片和切割方法。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS,Micro-electromechanical Systems)是一種基于微電子技術(shù)和微加工技術(shù)的一種高科技領(lǐng)域。MEMS技術(shù)可將機(jī)械構(gòu)件、驅(qū)動(dòng)部件、電控系統(tǒng)、數(shù)字處理系統(tǒng)等集成為一個(gè)整體的微型單元。MEMS器件具有微小、智能、可執(zhí)行、可集成、工藝兼容性好、成本低等諸多優(yōu)點(diǎn)。MEMS技術(shù)的發(fā)展開(kāi)辟了一個(gè)全新的和產(chǎn)業(yè),采用MEMS技...
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